半导体高低温测试装置使用须知

　　半导体高低温测试装置是运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所，是半导体行业应用元件制冷制热、控温测试的一种设备。那么，这种设备应该注意什么呢？

　　半导体高低温测试装置注意事项

　　1、半导体高低温测试装置的电源采用三相四线制，电源线连接电源线、零线和地线。用电控箱上的穿孔将机组的主电源线连接到箱内的接线柱上，确保连接紧密。

　　2、主电源电压：在额定电压要求范围内；

　　3、当主电源电压波动超过规定范围时，不允许启动半导体高低温测试装置否则视为操作不当，由此造成的损坏不在我公司维修范围内；

　　4、半导体高低温测试装置设有电流过载保护、压缩机排气端高低压保护、电机线圈过热保护、防冰保护、冷却水流量联锁保护等措施和控制电路；

　　5、无锡冠亚半导体高低温测试装置的控制电路已在工厂安装调试完毕，未经授权不得更改。如需更改，请联系无锡冠亚技术人员。

　　半导体高低温测试装置特点：

　　1、半导体高低温测试装置的介质循环系统保压测试7bar。

　　2、半导体高低温测试装置采用高品质磁力泵，没有机械轴封。

　　3、优化温度采样及响应速度，专门设计控制算法，能快速响应到控温稳定。

　　4、无锡冠亚半导体高低温测试装置增强循环泵能力设计，满足系统高扬程需求。

　　5、持续高温降温技术，满足在热沉板加载热量，需要冷热恒温控制时稳定运行。

6、针对氟化液易挥发特点，加强了接头设计、系统密封设计，确保介质使用寿命。

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